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AE 射頻電源 Paramount MF 15002
  • AE 射頻電源 Paramount MF 15002
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貨物所在地:江蘇揚州市

更新時間:2024-12-23 08:47:09

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AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW 1.8-2.17MHz RF Generator 是經過長期現場驗證的具有優良性能和輸出穩定性的射頻發生器。

AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW 1.8-2.17MHz RF Generator 是經過現場長期驗證的具有穩定輸出能力和控制能力的高性能射頻電源,在實際運行過程中展現出了優良的工藝穩定性。AE Paramount 系列射頻電源具有優秀的成膜能力,廣泛應用在半導體薄膜工藝中,該型射頻電源成膜速度快,效率高,能夠在一定程度上提高產線效率和產品良率。MF 15002射頻電源能夠實現對射頻輸出的精準控制,在半導體制程濺射、CVD、PECVD、蝕刻工藝中存在較多應用和良好表現。

AE 射頻電源 Paramount MF 15002 15KW 參數規格

設備品牌:AE(Advanced Energy)

設備型號:Paramount MF 15002

AC 電源輸入:3 phase~ +PE,200~208V,50/60Hz,70A  

RF 射頻輸出:15KW,1.8~2.17MHz,<1000Vrms

通訊接口:Sync In/Out,CEX In/Out,Match,User,Serial,ENET

設備散熱:水冷散熱

水冷進水需求:MAX 進水壓力 6.9Bar/690kPa



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