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射頻電源 AE Paramount VHF 6060
  • 射頻電源 AE Paramount VHF 6060
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貨物所在地:江蘇揚州市

更新時間:2025-04-01 08:51:06

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AE 射頻電源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 可實現精密的射頻調節、復雜的脈沖操作和先進的數據采集。Paramount Plus Series 設計覆蓋廣泛的射頻能量范圍——從400KHz~60MHz,輸出功率從1.5KW~15KW,可以提供客戶需要的可重復性和可靠性。

AE 射頻電源 Paramount VHF 6060 57-63MHz 6KW RF Generator 射頻電源采用了面向新興等離子應用的多級脈沖和脈沖波形控制,為客戶提供了可靠的脈沖控制等優秀技術和可定制功能。Paramount系列擁有精確的射頻和脈沖控制,能夠快速響應等離子體變化,設備內置診斷工具。可實現精密的射頻調節、復雜的脈沖操作和先進的數據采集。Paramount Plus Series 設計覆蓋廣泛的射頻能量范圍——從400KHz~60MHz,輸出功率從1.5KW~15KW,可以提供客戶需要的可重復性和可靠性。


技術參數

功率等級:3 or 6 KW

頻率:27MHz、40MHz、60MHz,頻率調諧±5%

可用接口:RS-232、25針模擬、以太網、DeviceNet、Profibus、EtherCAT

AC Input:200/240VAC,400/480VAC

工頻:50/60Hz

散熱:風冷和水冷

工作環境溫度范圍:+5°C ~ +40°C,+41°F ~ +104°F

高級功能:多級脈沖,電弧管理,CEX


優點:

  1. 精密控制射頻

  2. 提高等離子提穩定性

  3. 加速等離子體轉換

  4. 縮短工藝時間

  5. 提高工藝可重復性和腔室匹配度

特點:

  1. 通過精密調節功率輸出提升射頻穩定性

  2. 先進的多級脈沖

  3. 脈沖同步和監測

  4. 實時功率和阻抗測量

  5. 先進的FastDAQ數據采集系統





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