在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，溫度控制的精度和穩(wěn)定性對(duì)芯片性能以及生產(chǎn)良率有著直接影響。然而，傳統(tǒng)溫控設(shè)備存在能耗較高、精度相對(duì)不足以及穩(wěn)定性欠佳等問(wèn)題，這些問(wèn)題已然成為制約半導(dǎo)體材料有效生產(chǎn)的關(guān)鍵因素。
一、半導(dǎo)體行業(yè)行業(yè)挑戰(zhàn)
一方面，控溫精度不足，在低溫工況下易出現(xiàn)溫度回升現(xiàn)象，可能導(dǎo)致光刻膠形變或研磨液性能波動(dòng)，進(jìn)而影響工藝一致性；
另一方面，效率低下，能耗較高，且由于控溫精度不足，可能導(dǎo)致原料浪費(fèi)與生產(chǎn)成本增加。這些問(wèn)題已然成為制約半導(dǎo)體材料有效生產(chǎn)的關(guān)鍵因素。
冠亞恒溫聚焦半導(dǎo)體行業(yè)的控溫需求，憑借其高精度的溫控解決方案以及創(chuàng)新技術(shù)優(yōu)勢(shì)，幫助企業(yè)達(dá)成更有效、更穩(wěn)定的生產(chǎn)目標(biāo)。
二、半導(dǎo)體行業(yè)控溫解決方案
半導(dǎo)體溫控設(shè)備Chiller適用于集成電路、半導(dǎo)體顯示等行業(yè)，溫控設(shè)備可在工藝制程中準(zhǔn)確控制反應(yīng)腔室溫度，是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)設(shè)備或工藝進(jìn)行冷卻的裝置，其工作原理是利用制冷循環(huán)和熱交換原理，通過(guò)控制循環(huán)液的溫度、流量和壓力，帶走半導(dǎo)體工藝設(shè)備產(chǎn)生的熱量，從而實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的溫度控制，確保半導(dǎo)體制造過(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
三、半導(dǎo)體溫控Chiller核心產(chǎn)品
FLTZ變頻單通道Chiller
?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺(tái)等
?溫度范圍：-100℃~+90℃，控溫精度±0.05℃
?技術(shù)亮點(diǎn)：變頻泵可調(diào)整循環(huán)液壓?、流量；智能變頻節(jié)能控制，降低使用能耗；?持?標(biāo)定制，?持PC遠(yuǎn)程控制
FLTZ系列雙通道Chiller
?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺(tái)等
?控溫范圍：-45℃~+90℃，控溫精度：±0.1℃
?技術(shù)亮點(diǎn)：系統(tǒng)支持雙通道獨(dú)立控制溫度、流量壓力；采用變頻控溫技術(shù)，可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品
FLTZ變頻三通道Chiller
?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于光刻、刻蝕、薄膜沉積、探針臺(tái)等
?控溫范圍：-20℃～+100℃，控溫精度：±0.1℃
?技術(shù)亮點(diǎn)：三通道整合，支持每個(gè)通道獨(dú)立控溫范圍、導(dǎo)熱介質(zhì)流量；深化性能開(kāi)發(fā)，匹配刻蝕工藝需求
面板Chiller
?介紹應(yīng)用：應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等
?控溫范圍：+15~+30℃，控溫精度±0.05℃
?技術(shù)亮點(diǎn)：高揚(yáng)程設(shè)計(jì)?持?流量?負(fù)載，確保嚴(yán)苛?況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)?；智能變頻節(jié)能控制，減少?效能耗；符合三通道?藝設(shè)計(jì)要求，確保信號(hào)/流體的獨(dú)?傳輸與準(zhǔn)確控制
ETCU換熱控溫單元
?介紹應(yīng)用：應(yīng)用于PVD、CVD、PECVD、ALD?藝等
?冷卻?溫度范圍：+5℃~+90℃，控溫精度±0.05℃
?技術(shù)亮點(diǎn)：系統(tǒng)?壓縮機(jī)，通過(guò)換熱降溫；?持?標(biāo)定制，?持PC遠(yuǎn)程控制
四、為什么選擇冠亞恒溫？
1、深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域：服務(wù)半導(dǎo)體后道生產(chǎn)流程工藝中，覆蓋半導(dǎo)體FAB工藝過(guò)程控溫、半導(dǎo)體封測(cè)工藝過(guò)程控溫。
2、定制化服務(wù)能力：依托模塊化平臺(tái)，提供標(biāo)準(zhǔn)化與個(gè)性化結(jié)合的解決方案。
五、冠亞恒溫半導(dǎo)體溫控Chiller溫控系統(tǒng)技術(shù)優(yōu)勢(shì)
1、變頻技術(shù)與節(jié)能：采用變頻技術(shù)，結(jié)合精心設(shè)計(jì)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和自主開(kāi)發(fā)的控制算法，能夠準(zhǔn)確調(diào)節(jié)壓縮機(jī)的輸出頻率。在滿足制程需求的前提下，降低能耗，為企業(yè)節(jié)省運(yùn)營(yíng)成本。
2、全密閉式系統(tǒng)：采用全密閉設(shè)計(jì)，有效杜絕油霧和異味產(chǎn)生，延長(zhǎng)導(dǎo)熱液體的使用壽命。
3、快速加熱與制冷：參與循環(huán)的導(dǎo)熱液體量少，使得加熱和制冷速度大幅提升。響應(yīng)速度快，能夠及時(shí)適應(yīng)工藝過(guò)程中的溫度調(diào)整需求。
4、模塊化設(shè)計(jì)：系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小，安裝和移動(dòng)都十分便捷。這種設(shè)計(jì)使得設(shè)備能夠靈活適應(yīng)不同的生產(chǎn)場(chǎng)地和工藝布局，為企業(yè)節(jié)省空間和安裝成本。
5、智能監(jiān)控與診斷：可同時(shí)監(jiān)控、設(shè)定和控制流量、泵壓、溫度等參數(shù)，實(shí)時(shí)顯示運(yùn)行狀態(tài)。設(shè)備具備故障自動(dòng)診斷功能，并擁有多項(xiàng)報(bào)警保護(hù)功能，能夠提前預(yù)警潛在問(wèn)題，保障生產(chǎn)的連續(xù)性和穩(wěn)定性。
6、控制重復(fù)性與穩(wěn)定性：基于動(dòng)態(tài)控制系統(tǒng)，確保每次控制結(jié)果的一致性，有效提升生產(chǎn)穩(wěn)定性。
7、自適應(yīng)PID控制：采用自適應(yīng)PID算法，能夠自動(dòng)適應(yīng)不同的環(huán)境和負(fù)載條件，無(wú)需人工調(diào)整參數(shù)，這大大降低了操作難度和維護(hù)成本，提高了設(shè)備的智能化水平。
溫度控制是半導(dǎo)體制造過(guò)程中一項(xiàng)重要的工藝環(huán)節(jié)。冠亞恒溫半導(dǎo)體溫控Chiller憑借技術(shù)創(chuàng)新作為發(fā)展動(dòng)力，通過(guò)提供準(zhǔn)確、穩(wěn)定且有效的溫控系統(tǒng)，協(xié)助企業(yè)優(yōu)化生產(chǎn)流程，降低資源消耗，推動(dòng)企業(yè)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的制造生產(chǎn)。
