fei掃描透射電子顯微鏡結合了掃描電子顯微鏡(SEM)和透射電子顯微鏡(TEM)的原理，聚焦的電子束掃描過薄樣品，并通過樣品下方的探測器來收集透過樣品的電子。由于電子與樣品相互作用，部分電子會被散射，而探測器接收到的是未被散射的透射電子。
以下是fei掃描透射電子顯微鏡的基本工作原理：
1、電子槍發射電子：使用電子槍產生高速電子束。這些電子被加速到高能量狀態，以便它們能夠穿透非常薄的樣品。
2、電子束聚焦：通過一系列的電磁透鏡系統，將電子束聚焦成非常細小的探針。這個細小的探針隨后用于掃描樣品。
3、掃描樣品：聚焦的電子束在樣品上進行逐點掃描。這通常是通過偏轉線圈來實現的，它能夠在樣品表面快速移動電子束。
4、信號收集：探測器放置在樣品下方，用于收集透過樣品的電子。這些探測器可以是環形的或半環形的，能夠檢測不同角度散射的電子。
5、成像與對比度：圖像的對比度主要來自于電子在穿過樣品時發生的散射。較厚的區域或原子序數較高的區域會散射更多的電子，因此在探測器上形成的信號較弱，顯示為圖像中的暗區。相反，較薄的區域或原子序數較低的區域散射較少的電子，顯示為圖像中的亮區。
6、圖像重建：探測器收集到的信號被轉換為電信號，隨后由計算機處理以重建出樣品的高分辨率圖像。
7、數據分析：最終得到的圖像可以用來分析樣品的內部結構、組成以及材料的微觀性質。例如，常用于研究納米材料、催化劑、半導體器件等的內部結構和成分分布。
fei掃描透射電子顯微鏡的一個顯著優點是它能夠在原子級別上提供高對比度的圖像，尤其是當配備有高角度環形暗場探測器時。這種探測器只收集那些經過大角度散射的電子，從而使得重元素在圖像中更為突出，便于觀察和分析。
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