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h-square低接觸晶圓傳輸機-全自動LCT2特征

時間:2023/12/2閱讀:479
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產品 

描述 

桌上型、自動化、高價值的薄片晶圓和化合物晶圓轉移工具。 先進的低接觸晶圓傳輸機(LCT)可提供最潔凈、可靠和快速的晶圓傳輸方式,

無論是一般標準晶圓或是易碎晶圓都可在的方式下在兩個料盒之間傳輸。高可靠性和低維護成本。小體積的設計節省了寶貴的潔凈室空間。

LCT2具有觸摸屏控制,聚偏二氟乙烯涂層桿,料盒門和晶圓檢測功能。



 


LCT2 特點: 


觸摸屏控制

支撐桿采用PVDF 涂層,一次傳輸 25 個晶圓

料盒門存在檢測

料盒和工具中晶圓存在檢測

規格

晶圓尺寸76, 100, 150, 200mm 

電源要求220VAC 至 24VDC 3 安培電源單獨出售

產品尺寸10"寬 30"長 16"高

重量40磅


附加信息

裝運重量95磅

裝運尺寸16 × 36 × 24 英寸


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