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日本ULVAC愛發科 真空隔斷 羅茨泵PMB系列Ver.D是通用型羅茨泵。可以選擇表面處理或大氣壓驅動型，可以在空冷下運轉。

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日本ULVAC愛發科 多級羅茨型干泵 真空干燥通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款...

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日本ULVAC愛發科 真空泵 高負荷領域通過低溫區域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

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日本ULVAC愛發科 干式真空泵 灰化裝置用通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

日本ULVAC愛發科 干式真空泵 蝕刻裝置用通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

日本ULVAC愛發科 干式真空泵 CVD裝置用通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。

日本ULVAC愛發科 干式真空泵 安全密閉結構通過高溫領域的泵體均熱化，實現將CVD、蝕刻等工藝中產生的升化性排氣物質以氣體狀態排出的一款泵。