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真空泵根據其工作原理進行分類，并對典型真空泵的工作原理進行說明。
1、油旋片真空泵
油回轉真空泵是利用旋轉的轉子將吸入的空氣推出的真空泵，是利用油來提高氣密性的濕式泵的總稱。也稱為旋轉真空泵。
具體類型有旋片式油回轉真空泵、凸輪式油回轉真空泵、搖擺活塞式油回轉真空泵。與轉子、凸輪和活塞連接的擺動部分以及與空氣接觸的部分的形狀各不相同，但在所有類型中，隨著轉子旋轉，通過排出空氣來產生真空。
只要使用油，油的蒸氣壓就是真空的極限，但油的作用可以實現穩定的性能，并且可以用小型裝置輕松實現中等真空。
2、油擴散真空泵
油擴散真空泵由鍋爐、噴嘴和冷凝器組成。在鍋爐中加熱并轉化為蒸汽的油通過噴嘴以超音速噴射，將泵內的空氣分子推出到排氣口。蒸出的油在冷凝器中作為液態油重新使用。
3、旋片式干式真空泵
旋片式干式真空泵是一種不使用油，利用旋轉的轉子和葉片抽出從進氣口吸入的空氣的真空泵。由于無法防止空氣回流，低真空條件是限制，但可以實現高抽速。
4、搖擺活塞式干式真空泵
擺動活塞式干式真空泵是利用與偏心轉軸相連的活塞來推出和排出空氣的真空泵。由于其結構，它不能防止空氣回流，因此低真空條件是其限制，但維護很容易。
5.隔膜式干真空泵
隔膜泵是通過橡膠、樹脂或金屬等材料制成的隔膜的往復運動與止回閥相結合來輸送流體的泵。使用真空泵時，由于有止回閥，無需使用油來密封，可作為干泵使用。隨著往復運動，從想要形成真空的一側反復吸入空氣并將其排出到大氣側，從而形成真空。
6、渦旋式干式真空泵
渦旋式干式真空泵是通過螺旋定子和轉子的聯合運動來排氣的干式真空泵。旋轉運動將空氣吸入中心并從中心排出。
7. 渦輪分子泵
渦輪分子泵是渦輪形式的干式真空泵。排氣是通過使渦輪葉片高速旋轉以接近分子的熱運動來實現的，根據渦輪葉片的傾斜度在分子運動中產生偏差。為了使渦輪葉片高速旋轉，必須在一定的真空度下使用，并與其他真空泵組合使用。
