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INFICON英福康光學等離子體真空計
INFICON Augent® 光學等離子體真空計是一種緊湊、智能的真空監測解決方案。Augent將兩種傳感器技術結合到一個緊湊的設備中，用于監測1 x 10-7至5 mbar的氣體類型，并同時測量從1 x 10-7 mbar到大氣的總壓力。
Augent由一個集成的皮拉尼傳感器保護，用于關閉20mbar以上的等離子體。快速光學測量原理原則上允許檢測任何類型的氣體。
優勢
l 高速檢漏，可進行腔體檢漏
l 提高生產率和產量
l 壽命長，不燒絲，有氣涌保護
l 可承受工藝化學反應
l 智能算法，易于集成
l 設計緊湊，占地面積小
l 可靠、快速啟動
典型應用
l 腔體泄漏檢查，更快的RoR（上升率）測試
l 泄漏檢查，發現氣體供應管道的內部泄漏
l 實時終端控制
l 氣體類型和濃度控制
INFICON英福康光學等離子體真空計
規格
測量范圍 N2 | 毫巴 托 | 1×10-7 … 5 (7.6×10-8 … 3.8) |
精度 總壓力讀數 N2 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 讀數百分比 | 30 |
100 ... 1000 毫巴 | 讀數百分比 | 50 |
N2 總壓力讀數的重復性 | ||
1 x 10-7 ... 100 毫巴 | 讀數百分比 | 5 |
溫度 | ||
運行（環境） | °C | +5 … +50 |
存儲 | °C | -20 … +70 |
帶電子裝置的法蘭處烘干 | °C | <80 |
法蘭處烘干（不含電子裝置） | °C | <120 |
電源電壓 | ||
壓力表 | 伏（直流） | +14.5 … +30 |
波紋 | 伏（p-p） | ≤1 |
耗電量 | W | ≤5 |
連接保險絲 | AT | 1 |
暴露在真空中的材料 | ||
一般材料 | 一般材料 | Al2O3, 不銹鋼 1.4435 |
陽極 | 陽極 | 鉬 |
電離室 | 電離室 | 鈦，不銹鋼 1.4016 |
點火器 | 點火器 | 不銹鋼 1.4310 |
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