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V41系列-PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制閥
  • V41系列-PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制閥
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貨物所在地:浙江杭州市

更新時間:2025-05-10 11:09:02

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PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制閥(V41系列)用于SEMI生產系統中的上游清潔進氣室。適用于蝕刻、CVD工藝。

PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制閥(V41系列)

該產品采用集成式控制器設計,它將控制器與閥門本體集成在一起,減少了外部布線和連接的復雜性,提高了系統的可靠性和穩定性,同時也便于安裝、調試和維護。


特點

l半標準應用(半E21-94、半E24-92、半E21.1-1296)

l無顆粒,提供極其干凈的理想進氣室

l100萬個使用壽命周期

l高真空角閥

l氣動執行器,雙作用

l智能模塊化設計,易于維護


l白色硬質陽極氧化表面處理

l可定制開口尺寸

l各種O型圈[Kalrez、Chemrazetc.]


應用

l半導體加工

l所有CVD工藝(包括MO、PEHDP、LPAP

l太陽能工藝制造

l所有其他集群和內聯真空系統


PRECESS普瑞賽思遠程等離子控制閥(V41系列)

技術參數

執行器


氣動

閥體材質


不銹鋼

饋通

不銹鋼

波紋管

陽極氧化鋁

O型圈軸

標準法蘭


ISO-F,CF-F,ASA-LP, JIS

泄漏率

不銹鋼

< 1 × 10-9 mbar l/s

陽極氧化鋁

< 1 × 10-9 mbar l/s

壓力范圍

不銹鋼

1 × 10-8 mbar to 2 bar

陽極氧化鋁

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar

閘門開啟方向的壓差


≤ 1.2bar

閘門關閉方向的壓差


≤ 1.2bar

開口處的壓差


≤ 1bar

first使用前的生命周期

不銹鋼

300,000

陽極氧化鋁

100,000

溫度

不銹鋼

閥體

≤ 150 °C

閥門

≤ 150 °C

執行器

≤ 120 °C

陽極氧化鋁

閥體

≤ 150 °C

閥門

≤ 150 °C

執行器

≤ 120 °C

材質

不銹鋼

閥體

AlSI 304 (1.4301)

閥門

AlSI 304 (1.4301)

閥帽

AlSI 304 (1.4301)

陽極氧化鋁

閥體

EN AW-6061(3.3211)

閥門

EN AW-6061(3.3211)

閥帽

EN AW-6061(3.3211)

表面處理

不銹鋼

閥體

電解拋光

閥門

Bare

閥帽

電解拋光

陽極氧化鋁

閥體

白色硬質陽極氧化

閥門

白色硬質陽極氧化

閥帽

白色硬質陽極氧化

密封

不銹鋼

FKM(Viton®)或根據要求

陽極氧化鋁

FFKM(Kalrez®9500

安裝位置


任意

電磁閥


24 VDC應要求

位置指示器

類型

簧片開關

電壓

12V/24VDC或應要求

電流

5-50 mA

連接器

AMP 4P mate/D-Sub 9P male

壓縮空氣連接


快速連接器O.D. 4 mm



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