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薄膜沉積設備“套件”的概述

2024-6-14  閱讀(574)

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  1. 腔室單元:腔室、閘閥、濺射源(或蒸發源或等離子體源)、觀察口、樣品臺(可選:加熱或冷卻、射頻應用)

  2. 排氣裝置:油回轉泵、渦輪分子泵(或油擴散泵+閥門)、支架等。

  3. 真空管路:(帶壓力表口、排氣閥、進氣口) 

  4. 真空計1:皮拉尼真空計

  5. 真空計2:熱陰極電離真空計(BA真空計)

  6. 真空計3:隔膜真空計

  7. 電源裝置:濺射用直流電源(或濺射用射頻電源+匹配盒或電阻加熱蒸發用電源)

  8. 氣體引入單元:質量流量控制器(或針閥組)

  9. 樣品輸送機器人(手動)

  10. 負載鎖和轉移室:(4 或 6 個室的室安裝表面)蓋子、粗抽閥、排氣閥、底座

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