ULVAC愛發科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
ULVAC愛發科 UNECS-1500A 分光橢偏儀
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設定點設置、狀態確認等。
燈絲壽命通知功能：通過監測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復合電離真空計可以根據工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產品相比，實現了尺寸的大幅縮?。刂破黧w積縮小56%），成為同級別最小的產品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規格和串行通信規格之外，還將增加EtherCAT規格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設備的極限壓力確認以及工藝管理用真空爐等各種工業真空設備的極限壓力確認
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設備
UNECS系列是可以高速、高精度測量薄膜膜厚和折射率的分光橢偏儀。采用 的測量方式，實現了高速測量和機體的小型化。
我們的產品陣容包括 的便攜式，自動式和對應真空環境的設備內置式類型。
UNECS-1500A/2000A/3000A通過自動R-θstage和自動對焦功能，快速自動測量整個樣品表面的膜厚，并通過彩色地圖顯示膜厚分布。
特點
高速測定：
的快照方法可實現高達20 ms的高速測量。
適用于可見光譜：
波長范圍可選標準類型（530nm至750nm）和可見光譜類型（380nm至760nm）。
緊湊型傳感器單元：
光發射和接收的傳感器僅由沒有旋轉機構的光學部件組成，因此非常輕且緊湊，并且不需要定期維護。
豐富的產品陣容：
產品陣容應用廣泛，包括如 的便攜類型，手動/自動平臺類型，大型基板類型，以及支持大氣/真空環境的內置類型。
