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微量氣體流量計的應用范圍廣泛，主要涵蓋以下領域

工業生產與環保 

用于沼氣生產、產氫暗發酵、生物燃料乙醇等工藝研究，監測甲烷、氫氣等微量氣體1。

在石油化工、鋼鐵冶金、電力等行業中，用于氣體泄漏檢測、工藝流程控制及環保排放監測6。

科研與醫療

實驗室中用于細胞培養氣體代謝、光催化/光電催化反應氣體體積測量（如氫氣、氧氣）。

醫療設備中監測呼吸氣體流速（如呼吸機、麻醉機）及新生兒保溫箱環境參數8。

能源與半導體制造

涉及氫能、太陽能、燃料電池等領域，用于精確控制燃料混合比例及優化燃燒效率。

半導體工藝中控制反應室氣體流量和比例，確保晶片制造質量3。

食品加工與環境保護 7

食品加工中控制氧化反應速度或氣體成分混合8。

環境監測中檢測空氣污染物（如汽車尾氣、工業廢氣）及空氣質量。

其他領域

涉及核反應堆環境監測、真空鍍膜工藝控制等特殊場景。

總結 ：微量氣體流量計憑借高精度、高靈敏度特性，廣泛應用于能源、環保、醫療、科研及工業等多個領域，滿足對微量氣體實時監測與精準控制的需求。

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