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# 2025年新品發(fā)布會#
日期：2025年5月23日
時間：8：30-18：30
近期我司新推出升級了日本原裝Osaka Vacuum大阪真空TG1003油潤滑復合分子泵
耐腐蝕性氣體排出的化學類型 ■ 結(jié)構(gòu)可抵抗意外進入大氣 ■ 耐外部沖擊 ■ 可進行串行通信 ■ 安全標準 NRTL/半 S2 用 ?半導體制造 ?電子槍排氣、離子源排氣 ?FPD 制造 ?表面處理、表面改性 ?各種電子元件的制造 ?管材、光學元件的制造 ?加速器、放射線設(shè)施、聚變研究 ?熱處理 ?研發(fā) * 對于清潔工藝，請選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。
| 進氣法蘭 | VG150 CF160 ISO-B160 標準 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1000 |
| N2（帶保護網(wǎng)） （升/秒） | 940 | |
| H2 （升/秒） | 1000 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×103 | |
| 極限壓力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6/< 1×10-7 |
| VG?ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9/< 7.5×10-10 | |
| 最大氣體流速※1 | N2 （SCCM） | 2715 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 9-12 |
| 停機時間 | （分鐘） | 9-13 |
| 允許的輔助壓力 | （Pa / Torr） | 300/2.3 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | 500 |
| 潤滑油量 | （毫升） | 260 |
| 安裝姿勢 | 垂直 （±10°） | |
| 質(zhì)量 | （公斤） | 50 |
| 控制器類型 | TC1003 系列 | |
