德國BECKER(貝克)作為全球干式真空技術者,其VX4.25無油旋片泵以革命性的無油設計和工業級可靠性,成為半導體、醫療和科研領域的先進產品。以下是其核心技術特點:
PTFE復合旋片系統:自潤滑碳纖維增強旋片,無需油潤滑
無污染設計:通過ISO 8573-1 CLASS 0認證,極限真空達0.5mbar(abs)
溫差自適應:特別的熱補償腔體設計(-10℃~+40℃穩定工作)
雙級壓縮系統:采用高精度鋁合金缸體,比單級效率提升35%
強化軸承單元:SKF特種軸承,MTBF>50,000小時
模塊化維護:所有易損件可徒手更換(維護時間<30分鐘)
變頻驅動:轉速300-1800rpm無級可調(節能模式功耗<1.2kW)
IoT就緒:集成RS485接口,支持MODBUS-RTU協議
自診斷系統:實時監測軸承溫度/振動(預警閾值可編程)
低噪音設計:62dB(A)@1m(配備特別消音器)
耐腐蝕版本:可選全不銹鋼流道(針對酸性氣體)
多安裝方式:支持水平/垂直安裝,抗沖擊5G
半導體特別供版:加裝分子篩 traps(防止微粒反流)
醫療級型號:符合EU GMP Annex 1潔凈度要求
防爆認證:ATEX Zone 2/22(電機防護等級Ex nA IIC T4)
分析儀器:質譜儀真空系統
光伏制造:硅片鍍膜設備
醫療滅菌:真空蒸汽滅菌柜
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