特點(diǎn)

• 操作性的提高：通過(guò)與PC/智能手機(jī)的連接，可以進(jìn)行設(shè)定點(diǎn)設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。

• 燈絲壽命通知功能：通過(guò)監(jiān)測(cè)燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。

• 
  

• 可連接到不同的測(cè)量范圍：復(fù)合電離真空計(jì)可以根據(jù)工藝選擇測(cè)定子。

• 小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實(shí)現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級(jí)別最小的產(chǎn)品之一。

• 更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格（ST200-A）和串行通信規(guī)格（ST200-R）之外，還將增加EtherCAT規(guī)格（ST200-E）。

• 壓力測(cè)量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10⁺⁵～1×10^-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。

• 可以精確的測(cè)量大氣壓：可以檢查腔體的開(kāi)啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時(shí)）。

用途

• 用于有機(jī)EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)

• 用于在含有多種碳?xì)浠衔铮ㄓ皖?lèi)）的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量

• 用于在真空零件加工時(shí)殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進(jìn)行測(cè)量

• 用于需要降低測(cè)定子更換頻率的真空設(shè)備

※在腐蝕性氣體（鹵素氣體）環(huán)境中使用時(shí)請(qǐng)咨詢(xún)我們。

規(guī)格

型號(hào)		ST200-A	ST200-R	ST200-E （即將上市）
規(guī)格		標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格	串口通信規(guī)格	EtherCAT規(guī)格
適應(yīng)多離子傳感器		SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
可以連接的傳感器		多離子傳感器：1本 皮拉尼真空計(jì)SWU10-R：1本（可選） 大其他傳感器SAU：1本（可選）
測(cè)量精度（N2）		ST200本體模式：±2％
取樣時(shí)間		60ms 5回 移動(dòng)平均処理
測(cè)定値出力		出力電壓 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁 圧力換算公式　V=7.25+0.75×(LogP-2)　P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時(shí)間		60msec
控制輸入信號(hào)		FIL ON/OFF, DEGAS ON/OFF 打開(kāi)集電極動(dòng)作、負(fù)邏輯	-	-
制御出力信號(hào)		傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn)1/2/3, 有效排放,燈絲電力監(jiān)控 定格：24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V	-	-
串行通信規(guī)格		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED顯示		POWER/ERROR： 電源、LED ERROR (閃爍狀態(tài)根據(jù)各種模式變化)
發(fā)射電流		2mA (1×10-2Pa以下), 10μA (1×10-2Pa以上)
DEGAS		電子轟擊脫離方法（電子轟擊）1mA、330V
測(cè)量部耐圧性		2×10+5Pa （絕對(duì)壓力） * 需要單獨(dú)考慮法蘭和夾具等的耐壓性
傳感器內(nèi)部容量		17cm3(SWT-16), 19cm3(SWT-25)
使用溫度范圍		10～50℃
使用濕度范圍		15～80%(不結(jié)露)
保管溫度		-20～65℃(非通電時(shí)、不結(jié)露)
IP保護(hù)等級(jí)		IP30
電源電壓		DC20～28V (波紋，噪音1%以下)　 8W以下
輸入/輸出連接器		D-sub15銷(xiāo)（M2.6螺絲）
重量		調(diào)節(jié)器：約280g　測(cè)定子(M-44, M-45)：80g, (M-46): 300g
外形尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm (控制器部分)
適合規(guī)格		CE
選項(xiàng)	多離子傳感器	SWT-16（NW16）, SWT-25（NW25） 材質(zhì)：燈絲1,2 -Ir/Y2O3殼, 其他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Ni電鍍
	皮拉尼真空計(jì)傳感器	SWU10-R　※也支持傳統(tǒng)的SPU產(chǎn)品。
	皮拉尼真空計(jì)	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end),SWP-CF16(ICF034) 材質(zhì)：燈絲－Pt, 其他－BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊接
	大氣壓傳感器	SAU(NW16) 材質(zhì)：SUS316L
	單位電纜	GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m, GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
	顯示單元	1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
	顯示單元電纜	ST200～顯示單元電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30ｍ, 35m, 40m
	連接器	入出力連接器（D-sub15-soket（M2.6mm螺絲））
	其他	検査成績(jī)書(shū), 一般校正試験成績(jī)書(shū), JCSS校正証明書(shū)

各種模式規(guī)格

ST200-A/ST200-R/ST200-E有3種方式可選，多規(guī)格單體模式、皮拉尼真空計(jì)的組合模式、皮拉尼真空計(jì)或大氣壓傳感器的三重組合模式

模式	ST200-A/ST200-R/ST200-E 單體模式	ST200-A/ST200-R/ST200-E＋SWU10-R 組合模式	ST200-A/ST200-R/ST200-E＋SWU10-R＋SAU 組合模式
測(cè)量圧力范圍	1.0×10-5 to 1.0×10+1Pa	1.0×10-5 to 1.0×10+5Pa	1.0×10-5 to 1.0×10+5Pa
測(cè)量精度	1.0×10-4 to 3.0×10+0Pa： ±10%	1.0×10-4 to 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 to 1.0×10+5Pa：±20%	1.0×10-4 to 1.0×10+4Pa：±10% 1.0×10+4 to 3.0×10+5Pa：±3%F.S.(3.0×10+3Pa?基準(zhǔn)溫度25℃)
連接方式圖解
測(cè)定壓力范圍圖解	當(dāng)需要確認(rèn)大氣壓，如腔體打開(kāi)的情況下，推薦使用三合一組合

電腦/智能手機(jī)的連接圖示

應(yīng)用軟件「UL-MOBI」

電腦用	從ULVAC SHOWCASE下載
智能手機(jī)用	Google Play下載

Compatible devices

電腦	Windows10 64bit 以上
智能手機(jī)	Android 6以上、USB TypeC