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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特點

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE120TX的特點

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抽速大:最大抽速可達 1500L/min,能快速抽取氣體,可滿足半導體、光電顯示等行業苛刻工藝對真空效率的高要求。

極限壓力低:極限真空度低至 1.3Pa,在不使用氮氣吹掃的情況下也能維持高性能穩定運行,可提供高真空度環境。

干式運行:采用無油結構,避免了油污染風險,特別適用于潔凈室環境和對純度要求高的工藝。

結構可靠:垂直安裝的雙螺桿結構可有效防止顆粒堆積,延長泵體使用壽命,提高了運行的穩定性和可靠性。

耐腐蝕性強:配備高耐腐蝕材料與溫控系統,能夠適應處理腐蝕性和反應性氣體,可在惡劣的工藝環境中穩定工作。

防止冷凝積碳:前級加熱排氣配管系統可防止冷凝和積碳,增強了系統的穩定性。

溫度控制靈活:多級溫控系統可根據不同應用調節泵體溫度,提高了泵對不同工藝的兼容性。

環保性能好:除害裝置聯動接口支持等離子、燃燒、冷凝等除害方式接入,提升了環保性能,便于對排出氣體進行處理。

便于監控:遠程監控與報警系統可實時掌握泵體運行狀態,便于系統集成與自動化管理,能及時發現并處理問題。

噪音低:運行時產生的噪音僅為 56dB(A),有助于營造相對安靜的工作環境。



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