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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE303X/TX的特點

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KASHIYAMA日本樫山真空泵SDE303X/TX的特點

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大抽速高效能:SDE303X 抽速可達 5,000L/min ,能夠快速抽取氣體,顯著縮短達到真空環(huán)境的時間,大幅提升生產(chǎn)效率,在需要快速建立真空狀態(tài)的工藝中表現(xiàn)出色,如半導(dǎo)體制造中的快速成膜工序。

節(jié)能設(shè)計:以 SDE303X 為例,消耗功率僅 1.5kW,在實現(xiàn)高抽速的同時保持低能耗,采用特殊的螺桿形狀等節(jié)能技術(shù),有效降低企業(yè)運營成本,契合當前工業(yè)節(jié)能的發(fā)展趨勢。

良好的耐過程性:繼承 SDE 系列耐過程特性,可適應(yīng)復(fù)雜工藝流程。對于半導(dǎo)體、液晶制造等行業(yè)中存在腐蝕性氣體、粉塵等惡劣工況,通過采用縱型螺桿和特殊材料,具備高耐腐蝕性,確保真空泵在惡劣環(huán)境下穩(wěn)定運行,減少故障停機時間。

寬泛的壓力范圍:極限壓力可達一定低值(雖未明確 SDE303X/TX 具體數(shù)值,但 SDE 系列其他型號如 SDE90X 極限壓力為 1.3Pa ,SDE120TX 為 0.5Pa),可滿足從粗真空到高真空等不同真空度要求的應(yīng)用場景,無論是一般工業(yè)生產(chǎn)還是對真空度要求嚴苛的科研實驗都能適用。

電源適配性強:支持三相 AC200 - 220V、50/60Hz 電源電壓,能夠適應(yīng)不同地區(qū)的供電標準,方便在全球范圍內(nèi)安裝使用,減少因電源問題導(dǎo)致的設(shè)備適配困難。

靈活的應(yīng)用場景:在半導(dǎo)體制造中,用于芯片制造過程中的刻蝕、鍍膜等環(huán)節(jié),保障工藝環(huán)境的真空需求;在液晶制造領(lǐng)域,可用于液晶面板生產(chǎn)過程中的真空貼合、抽氣等工序;在新能源行業(yè),比如太陽能電池板生產(chǎn),助力真空環(huán)境下的材料加工與組裝,為新能源產(chǎn)業(yè)的高效生產(chǎn)提供可靠支持。



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