KASHIYAMA日本樫山真空泵MU100XE的特點
無油潔凈:采用無油干式設計,無需油封,避免了油蒸汽對環境和工藝的污染,特別適合在對潔凈度要求的潔凈室環境以及敏感工藝中使用,如半導體制造、液晶顯示器生產、LED 制造和光伏產業等。
高抽速、低能耗:運用優化的 Roots 轉子結構,能提供高達 1660L/min 的穩定抽速,可滿足中高負載的真空需求。同時配備低功耗電機,運行能效比優于同類產品,功率約 0.25kW,在實現高效抽氣的同時降低了能耗。
結構緊湊:尺寸為 450×230×275mm,體積小巧,重量約 60kg,占地面積小,便于集成到空間受限的自動化設備或成套系統中,適合設備集成和改造項目。
維護便捷:部件壽命長,維護周期長,且采用易于維護的設計,降低了維護成本和停機時間,能有效減少運營成本。
適配性強:可兼容多種工藝氣體環境,適用于化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、刻蝕、封裝等多種半導體及相關行業的工藝流程,具有很強的通用性和適應性。
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