KASHIYAMA日本樫山真空泵MU1200XE的特點
抽速高:最大抽速可達 20,000L/min,能快速抽取氣體,可滿足大負載真空需求,大大縮短抽氣時間,提高生產效率,適用于對抽氣速度要求高的工藝,如大型半導體鍍膜設備、大型真空干燥設備等。
極限壓力低:極限壓力為 0.5Pa,可獲得高真空度,能滿足對真空環境要求苛刻的工藝,如高精度半導體光刻、電子束蒸發等工藝對真空度要求,該真空泵能提供穩定的高真空環境。
無油潔凈:采用無油運轉設計,避免油污染,可確保工藝腔體潔凈無殘留。適用于對潔凈度要求高的行業,如半導體、液晶、LED 及太陽能光伏等,在這些行業中,微小的油滴或油蒸氣都可能對產品質量產生嚴重影響。
節能環保:配備低功耗電機,功率約 0.6kW。運行能效比優于同類產品,降低了能耗與運行成本;同時采用變頻驅動(VFD)調節轉速,可根據實際需求調整抽氣速度,進一步節能,能耗較油封泵可降低 30% - 50%。
結構緊湊:尺寸為 625×275×580mm,重量約 165kg,占地面積小,便于安裝在空間有限的設備中,適合設備集成和改造項目,可靈活安裝在各種生產線上,不占用過多空間。
維護便捷:采用模塊化結構,檢修流程簡單,無需復雜的拆卸和組裝過程,可降低維護成本和停機時間。維護人員可快速定位和更換故障模塊,減少設備停機維修時間,提高設備利用率。
電源適應性強:電源為三相 AC200 - 220V,50/60Hz,能適應多種電力供應環境,方便在不同地區和場合使用,無需額外配置復雜的電源轉換設備。
運行穩定:摩擦部件少,可承受連續運轉,不易出現故障。且噪音低、振動小,連續排氣無脈動,能為工作環境提供較好的條件,減少對工作場所的噪音污染和振動干擾。
智能控制:具有實時參數顯示功能,可通過觸摸屏或遠程接口(Modbus / 以太網)輸出真空度、溫度、功耗等數據;還配備自診斷系統,通過振動、溫度傳感器對異常情況(如過載或異物進入)進行預警,并自動停機保護,方便操作人員實時監控設備運行狀態,及時發現和處理問題。
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