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電感耦合等離子體質(zhì)譜分析技術(shù)是以等離子體為離子源，以質(zhì)譜進(jìn)行檢測的無機(jī)多元素分析技術(shù)，主要用于多元素同時測定，并可與其他色譜分離技術(shù)聯(lián)用，進(jìn)行元素價態(tài)分析，適用于各類材料中從痕量到微量元素分析，尤其是痕量金屬元素的測定。

該技術(shù)是根據(jù)被測元素通過一定形式進(jìn)入高頻等離子體中，在高溫下電離成離子，產(chǎn)生的離子經(jīng)過離子光學(xué)透鏡聚焦后進(jìn)入質(zhì)譜分析器，按照荷質(zhì)比分離，既可以按照荷質(zhì)比進(jìn)行半定量分析，也可以按照特定荷質(zhì)比的離子數(shù)目進(jìn)行定量分析。

賽默飛電感耦合等離子體質(zhì)譜儀ELEMENT2/XR是獲得認(rèn)可的痕量元素分析和定量的技術(shù)，可以同時分析周期表中的幾乎所有元素，濃度范圍從mg/L到pg/L ；兼容無機(jī)和有機(jī)溶液的基體和固體樣品。利用高分辨率直接分析有干擾的同位素；的確信不含干擾的元素圖譜；瞬時信號的多元素檢出器；并能與多種進(jìn)樣和分離技術(shù)聯(lián)用，例如激光進(jìn)樣。其應(yīng)用范圍從半導(dǎo)體工業(yè)到地質(zhì)和環(huán)保分析、從生物研究到材料科學(xué)。 ICP-MS嚴(yán)重的限制是元素信號的多原子干擾，這種干擾主要來自氬或樣品基質(zhì)。 高質(zhì)量分辨率是識別和消除干擾的標(biāo)準(zhǔn)。 即使沒有樣品制備步驟，消除干涉也能準(zhǔn)確可靠地進(jìn)行痕量級多元素定量分析。目前，已經(jīng)安裝使用的ELEMENT XR已超過600臺，服務(wù)于環(huán)境監(jiān)測、核科學(xué)、地球科學(xué)、材料科學(xué)等各個領(lǐng)域。