雙聚焦輝光放電質譜儀是直接分析導電材料中的固態痕量元素的較佳工具,能在一次分析過程中測定基體元素(~100%)、主體元素(%)、微量元素(ppm)、痕量元素(ppb)和超痕量元素(ppt)。在元素定量分析上,具有以下幾個優點:

1、它采用直接取樣技術,需測試的導電樣品經過簡單的機械處理和表面清潔,無需要樣品轉化為溶液,即可進行元素定量分析,同傳統的酸溶解測試方法相比較,二次污染小。因此,在測試分析定量上準確性更高。
2、雙聚焦輝光放電質譜儀將高效率輝光放電離子源與高分辨率質譜結合,具備高的分辨率和靈敏度、極低的檢測限、良好的數據重現性和一次74種元素分析足以滿足太陽能級硅材料分析的要求。該儀器同上海硅酸鹽研究所及目前規模較大的埃文思分析集團采用相同的測試標準和測試方法,并且具有更低的檢測限,因此測試結果的精確度上具有一定的優勢。日本三津和化學藥品株式會社使用電感耦合等離子體--原子發射光譜法(ICP-AES),樣品需經特定的溶解方法溶解,二次污染較大,并且B的檢出限為5ppm、最小的檢測限如Ag、Ba、Co等為1ppm,其余大部分元素檢測限在5-10ppm間。
3、本產品是硅行業乃至半導體行業分析材料純度通用手段,它能精確定量分析太陽能級硅材料中影響其性能的關鍵雜質,是分析太陽能級硅材料的重要和可靠的手段,比如B、P、Fe。能測試的元素大部分在亞ppb級。
目前,雙聚焦輝光放電質譜儀是太陽能級硅材料分析測試平臺的重要儀器之一。
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