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利用NexION 2000 對半導(dǎo)體級鹽酸中的雜質(zhì)進行分析

閱讀:167      發(fā)布時間:2017-06-02
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電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)具備測定納克/ 升(ng/L,PPT)甚至更低濃度元素含量的能力,是測量痕量及超痕量金屬的技術(shù)。然而,常規(guī)的測定條件下,氬、氧、氫離子會與酸基體相結(jié)合,對待測元素產(chǎn)生多原子離子干擾。

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珀金埃爾默企業(yè)管理(上海)有限公司

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