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超純水系統中的過濾與凈化主要包括以下幾個步驟：
預處理：一般會使用精密過濾裝置，主要目的是去除水中顆粒污染物、余氯以及鈣鎂離子等，以保護后續設備的運行。
初級過濾：水會通過初級過濾系統如過濾器或顆粒過濾器，以去除大顆粒雜質、懸浮物和固體顆粒。
高級過濾：包括反滲透、電去除、紫外線消毒等步驟。反滲透通過半透膜的壓力和孔徑限制，去除水中的溶解性固體、有機物和大部分離子；電去除通過電化學反應進一步去除水中的離子和有機物；紫外線消毒則使用紫外線照射水源，以殺滅或去除水中的微生物。
最終處理：經過高級過濾后的水源還需要進行一系列的處理步驟，以確保其達到超純水的標準。例如蒸餾，通過加熱水源，使其蒸發并重新凝結，以去除絕大部分的溶解性固體和有機物；再如再離子交換，使用更高效的離子交換樹脂，進一步去除水中的離子；最后通過納濾膜去除更小的顆粒和有機物。
以上信息僅供參考，建議咨詢有關超純水系統專業人士獲取更全面而準確的信息。
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