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精準控溫,智造未來|普泰克溫控系統助力半導體材料高效穩定生產

來源:普泰克(上海)制冷設備技術有限公司   2025年05月07日 08:28  


在半導體制造領域,溫度控制的精度與穩定性直接影響芯片性能與良率。從光刻膠的均勻涂布到CMP研磨液的精密拋光,再到封裝材料的可靠固化,工藝過程中每一度的偏差都可能影響最終產品品質。然而,傳統溫控設備能耗高、精度低、穩定性差,已成為制約半導體材料高效生產的“卡脖子”難題。普泰克(上海)制冷設備技術有限公司,聚焦半導體行業需求,以全流程溫控解決方案與創新技術優勢,助力企業實現更高效、更穩定的生產目標。


行業挑戰

溫度控制

控溫精度不足:

傳統設備在低溫(如-15℃)工況下易出現溫度回升現象,可能導致光刻膠形變或研磨液性能波動,影響工藝一致性。

1

效率低下:

傳統控溫設備能耗較高,且控溫精度不足,可能導致原料浪費與生產成本增加。

2


解決方案

普泰克技術突破

普泰克以供熱主機單元、管路系統、二級介質溫控系統、膨脹系統、智能控制系統為核心,構建覆蓋半導體全流程的溫度管理網絡,為行業提供可靠的技術支持。

普泰克溫控系統技術優勢

變頻技術與節能:

采用變頻技術,通過系統結構設計和自主控制算法,精準調節壓縮機輸出頻率,滿足制程需求的同時實現低能耗。

1

全密閉式系統:

全密閉設計,無油霧、無異味,導熱液體使用壽命長。

2

快速加熱與制冷:

參與循環的導熱液體少,加熱和制冷速度快。獨立的制冷與加熱單元,精確控制溫度變化,熱慣性小,響應速度快。

3

模塊化設計:

結構緊湊,占地面積小,安裝方便,移動便捷。

4

智能監控與診斷:

流量、泵壓、溫度等參數可以同時監控設定和控制,運行狀態實時顯示,故障自動診斷,具備多項報警保護功能。

5

控制重復性與穩定性:

基于高級動態控制系統,確保每次控制結果一致,提升生產穩定性。

6

自適應PID控制:

自適應PID算法,適應不同環境和負載,無需調整參數,實現最佳溫度控制。

7


核心產品

半導體溫控Chiller

01

PTS系列高精度冷熱循環器

? 應用場景:光刻膠低溫存儲、CMP研磨液恒溫供應

? 技術亮點:寬溫域控制能力,支持高精度溫度調節

02

PHE系列高精度換熱溫控單元

? 應用場景:封裝材料固化、蝕刻液溫度管理

? 技術亮點:快速響應溫度變化,適配復雜工藝需求


為什么選擇普泰克?

? 深耕半導體領域:服務半導體前、中、后道全流程工藝,覆蓋八大核心制程設備。

? 定制化服務能力:依托模塊化平臺,提供標準化與個性化結合的解決方案。

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