ULVAC愛發科

油擴散泵

什么是油擴散泵？

　這是一種動量輸送泵，利用油蒸氣噴射為氣體分子提供動量，將其輸送至排氣口并排出。

油擴散泵的特點

　油擴散泵由一個鍋爐（用于加熱油并產生蒸汽）、一個形狀像傘狀的噴嘴（噴射器）（用于向特定方向噴射蒸汽）和一個冷側（用于冷凝蒸汽）組成。盡管其結構簡單，但因其具有較高的抽速而聞名。它不能單獨使用，必須與油旋轉真空泵或類似泵配合使用作為輔助泵。

【優點】結構簡單，排氣速度快。

【缺點】高真空側有油蒸氣回流。

油擴散泵的工作原理

　裝置底部的油被加熱器加熱并變成蒸汽。當蒸汽以超音速從噴射段噴出時，氣體被從上部噴射段推至下部噴射段，并被攜帶至排氣口。以蒸汽形式噴出的油在主體內壁冷卻凝結，然后又恢復為油的原始狀態。

油擴散泵的主要用途

　FPD制造設備、半導體制造設備、真空蒸餾、凈化脫氣、滅菌、干燥、脫水、消毒等。

油擴散泵應用行業：

半導體制造領域、化工、制藥、食品行業、石油化工行業、

電力行業、冶金行業、新能源領域、醫療行業

1  ?FPD制造設備中油擴散泵用于獲得高真空環境，特別是在以下幾個關鍵工藝環節：

刻蝕?：用于去除硅片表面的材料。

鍍膜?：用于創造高真空環境，以確保薄膜的均勻沉積和良好的附著力。這對于制造高質量的集成電路和芯片至關重要?。

?晶圓加工?：在晶圓加工過程中，油擴散泵提供的真空環境有助于控制晶圓的傳輸和處理，確保加工過程的穩定性和可靠性?

單晶硅制造?：在單晶硅的生長過程中，高真空環境有助于減少雜質和缺陷的形成，提高晶體的質量。

等離子處理?：在等離子處理中，油擴散泵提供的高真空環境有助于提高等離子體的穩定性和均勻性，從而優化處理效果?。

2 真空蒸餾油擴散泵通過降低系統壓力，促使液體在較低溫度下沸騰，從而分離混合物中的不同組分。這種設備在工業領域中起著關鍵作用，廣泛應用于化工、制藥和食品等行業。??

3 凈化脫氣油擴散泵主要應用于以下行業?：

石油化工?：在石油化工行業中，油擴散泵用于石油產品的脫氣處理，以提高產品的純度和質量。例如，在潤滑油生產過程中，脫氣處理可以去除油中的氣體和雜質，確保潤滑油的性能穩定?。

?電力?：在電力行業中，油擴散泵用于變壓器油的脫氣處理。變壓器油在運行過程中會吸收水分和氣體，影響其絕緣性能。通過脫氣處理，可以恢復其絕緣性能，確保電力設備的正常運行?。

?冶金?：在冶金行業中，油擴散泵用于鋼鐵生產過程中的脫氣處理。去除鋼鐵生產中的氣體雜質可以提高產品的質量和純度，滿足高標準的冶金要求?。

?新能源?：在新能源領域，特別是太陽能和風能設備中，油擴散泵用于潤滑油的脫氣處理。高性能的潤滑油需要低氣體含量的基礎油，以確保設備的長期穩定運行。

4 油擴散泵在滅菌、干燥、脫水、消毒等領域的應用主要集中在醫療、化工、食品加工等行業。?

醫療行業

在醫療行業中，油擴散泵主要用于真空干燥和消毒滅菌設備。例如，真空干燥箱和真空滅菌器常使用油擴散泵來提供高真空環境，確保醫療設備和藥品的干燥和滅菌效果。這些設備在手術室、實驗室和藥品生產中起著關鍵作用，確保無菌操作和環境控制?。

化工行業

在化工行業中，油擴散泵用于各種化學反應和分離過程，特別是在高真空條件下進行的高純度化學品生產和精煉過程中。通過提供穩定的高真空環境，油擴散泵有助于提高產品質量和工藝效率?。

食品加工行業

在食品加工中，油擴散泵用于真空脫水處理，幫助去除食品中的水分，延長保質期并改善產品質量。例如，真空脫水技術在果蔬干燥、肉類加工和調味品生產中廣泛應用，確保食品的衛生標準和延長保存時間?。

具體應用案例

?醫療設備?：如真空干燥箱和真空滅菌器，使用油擴散泵提供高真空環境，確保醫療設備和藥品的干燥和滅菌效果。

?化工反應器?：在高真空條件下進行化學反應和分離過程，提高化學品的純度和生產效率。

?食品加工設備?：如真空脫水機，用于去除食品中的水分，延長保質期并改善產品質量。?

 ?