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真空快速退火爐有低真空型號(10-3hPa)、高真空型號(10-6hPa)；可存儲50個程序，每個程序最多分為50段控制；全自動智能控制，包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環水均可自動設置。
應用領域：
離子注入/接觸退火；
快速熱處理(RTP)，快速退火(RTA)，快速熱氧化(RTO)，快速熱氮化(RTN)；
可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用；
SiAu, SiAl, SiMo合金化；
低介電材料；
晶體化，致密化；
太陽能電池片鍵合。
硬件更換：
1.加熱燈管更換：加熱燈管超過使用壽命或無法點亮時需進行更換。加熱燈管的使用壽命為3000小時，高溫狀態下會降低其使用壽命。
2.真空泵油更換：在使用過程中，請每季度固定觀察1次真空油表，當油表顯示油量低于1/3時請添加真空泵潤滑油到油表一半以上。
3.熱電偶更換：當熱電偶測溫不正常或者損壞時需進行更換。熱電偶的正常使用壽命為3個月，隨環境因素降低其壽命。
4.O型圈的更換：O型圈表面有明顯破損或者無法氣密時需進行更換，其壽命受外力以及溫度因素影響。
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