在半導(dǎo)體材料、光電器件（如太陽(yáng)能電池、LED、光電探測(cè)器）的研發(fā)與測(cè)試中，高效、精準(zhǔn)且靈活的光電性能表征平臺(tái)至關(guān)重要。傳統(tǒng)測(cè)試往往需要在不同設(shè)備間切換，配置復(fù)雜光路，效率低下。本文將為您介紹一款集成化設(shè)計(jì)的高性價(jià)比光電測(cè)試探針臺(tái)系統(tǒng)，融合精密電學(xué)測(cè)量與靈活光學(xué)激勵(lì)能力。

核心優(yōu)勢(shì)：一體集成，靈活高效

• 多源激勵(lì)全譜覆蓋：系統(tǒng)支持從紫外 (200nm) 到紅外 (2500nm) 的寬光譜光源，包括氙燈復(fù)合光源、激光器、LED 等。三光柵單色儀結(jié)合消二次色散設(shè)計(jì)，確保高純度的單色光輸出

• 光路靈活尺寸可控：提供聚焦照明與均勻照明兩種模式，光斑尺寸可在 1微米至5毫米 的廣闊范圍內(nèi)精確調(diào)節(jié)，滿足微區(qū)測(cè)試與大面積掃描的不同需求。

• 軟件驅(qū)動(dòng)智能控制：配套軟件是系統(tǒng)的“大腦”，突破性地集成控制光學(xué)激勵(lì)源、電學(xué)測(cè)量?jī)x表（數(shù)字源表）及運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。用戶可自定義復(fù)雜的參數(shù)掃描序列（如波長(zhǎng)-電壓-電流組合），極大簡(jiǎn)化測(cè)試流程。

• 模塊擴(kuò)展功能強(qiáng)大：基礎(chǔ)平臺(tái)支持選配光致發(fā)光光譜 (PL)、電致發(fā)光光譜 (EL) 等高級(jí)測(cè)試模塊，滿足前沿研究需求。

核心部件參數(shù)詳解

• 精密探針臺(tái) (QTY: 1)：

兼容六英寸晶圓或芯片。

高精度四探針系統(tǒng)，定位底座分辨率達(dá) 0.7微米。

雙通道低噪聲電學(xué)探測(cè)接口，支持旋轉(zhuǎn)測(cè)量。

配備 3.5微米分辨率光學(xué)顯微鏡 及 2000萬像素工業(yè)相機(jī)** (1X-5X數(shù)碼變焦)，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)觀測(cè)與定位。

提供多種規(guī)格探針 (10/20/50/100μm)。

• 智能可調(diào)光源 (QTY: 1)：

氙燈光源：150W功率，覆蓋 200nm - 2500nm 光譜。

三光柵單色儀：焦距300mm，非對(duì)稱光路，有效抑制雜散光。

靈活輸出：?jiǎn)紊夥秶?50-1700nm，帶寬連續(xù)可調(diào) (典型30nm)，配備適用200-1800nm的六位濾光片輪。

φ200mm 積分球：提供均勻照明，含毫秒級(jí)快門控制。

全自動(dòng)控制：軟件控制波長(zhǎng)掃描、濾光片切換、步長(zhǎng)、延遲時(shí)間等。

定制光纖輸出：便于光路靈活配置。

•  高性能數(shù)字源表 (QTY: 1)：

寬范圍輸出/測(cè)量：電壓 (±200mV~200V)，電流 (±1μA~1A)，功率20W。

超高精度：電流分辨率達(dá) 0.1fA，電壓分辨率 1μV。

四象限工作：可無縫切換源與阱模式。

豐富功能：內(nèi)置電壓比較器，數(shù)字I/O，支持觸發(fā)掃描。

多接口通訊：GPIB, RS-232, USB, LAN。

• 多功能測(cè)試軟件 (QTY: 1)：

集成控制：統(tǒng)一界面控制光源、源表、運(yùn)動(dòng)平臺(tái)等設(shè)備。

參數(shù)設(shè)置靈活：可配置輸出通道、測(cè)量通道、掃描模式 (電壓、電流、光波長(zhǎng)等)、步長(zhǎng)、延遲、循環(huán)次數(shù)等。

豐富曲線繪制：實(shí)時(shí)顯示并分析VI、IV、LI、PV、RI、PI、RV、RFI、BJI、BJV等十余種特性曲線。

數(shù)據(jù)處理：數(shù)據(jù)濾波（取平均）、自動(dòng)/手動(dòng)量程設(shè)置。

精度調(diào)節(jié)：測(cè)量積分時(shí)間可設(shè) (0.001s~2s)，平衡速度與精度。

人性化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

• 四維精密運(yùn)動(dòng)：樣品臺(tái)支持 X, Y, Z, R (旋轉(zhuǎn))四軸電動(dòng)控制，便于精確定位和測(cè)量點(diǎn)選擇。

• 快速樣品更換：樣品通過真空吸附固定于底盤，樣品臺(tái)可快速抽出，大幅提升換樣效率。

• 模塊化布局：探針臺(tái)體集成4個(gè)高精度探針底座，預(yù)留光路接口，結(jié)構(gòu)緊湊穩(wěn)定。

天恒科儀光電耦合測(cè)量探針臺(tái)系統(tǒng)通過高度集成化的硬件平臺(tái)與功能強(qiáng)大的智能軟件，成功解決了傳統(tǒng)光電測(cè)試中設(shè)備分散、操作繁瑣、光路配置復(fù)雜的痛點(diǎn)。

其寬光譜光源激勵(lì)能力、微米級(jí)電學(xué)定位精度、納安級(jí)電流檢測(cè)靈敏度以及靈活的自定義掃描功能，使其成為材料研究、光電器件開發(fā)及量產(chǎn)測(cè)試中性價(jià)比很高的選擇。

無論是基礎(chǔ)的IV特性測(cè)試，還是復(fù)雜的光電響應(yīng)譜、EL/PL光譜分析，該系統(tǒng)都能提供高效、可靠的一站式解決方案，顯著提升研發(fā)與測(cè)試效率。