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質量流量控制器（MFC）是一種用于精確測量和控制氣體或液體質量流量的設備，在現代工業和科研中發揮著重要作用。
原理：MFC基于質量守恒定律，通過傳感器測量被控制介質的質量流量，并將信號傳遞給控制器。控制器根據流量傳感器的信號，通過反饋控制系統調節控制閥的開度，實現準確的質量流量控制。其工作原理還涉及熱傳導或質量平衡原理，例如，內部包含加熱元件和溫度傳感器，氣體流經時帶走熱量，通過測量溫度差轉換為電信號，進而計算出質量流量。此外，部分MFC利用層流狀態下壓差與流量的線性關系，結合壓力、溫度傳感器實時補償環境波動，確保高穩定性。
功能：MFC具有流量測量和控制、自動化操作、流量保護、數據采集和記錄等功能。它能夠精確地測量和控制系統中的流體流量，確保其在一個設定的范圍內。通過數字信號或模擬信號，對控制過程進行自動化操作，用戶可在控制器上設定流量值，實現自動調節。當流體流量過大或出現異常時，控制器會自動關閉閥門，防止流體泄漏。同時，MFC還能實時采集和記錄流體流量的數據，并通過接口傳輸給其他設備或系統，便于實時監控和分析。
應用：MFC廣泛應用于半導體制造、化學制品加工、醫療設備、環保設備等領域。在半導體制造中，用于精確控制刻蝕、沉積等工藝中的氣體流量；在醫療設備中，如呼吸機、麻醉機，確保氣體流量的準確控制；在環保設備中，用于工業廢氣排放的流量監控與數據采集。
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