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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>工藝測量和檢測設備>晶圓缺陷光學檢測設備>UX50 晶圓探測器

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UX50 晶圓探測器

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高密度器件檢測

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

UX50

產品系列: UX 系列

應用行業: 汽車制造, 航空航天, 科研開發, 焊縫檢測, 鑄造, 增材制造

缺陷尺寸: <1mm>1mm 缺陷

樣品尺寸: 小型, 中型, 大型

運行模式: 2D, 3D, 2D/3D

擴展視野、最大限度提高圖像質量的CT技術

UX50搭載的強大CT技術有助于優化零件尺寸、速度和圖像質量。

搭載DDA的專用錐束CT技術

  • QuickScan® – 連續旋轉圖像采集

  • QualityScan –開始-停止圖像采集,也用于環形偽影去噪

  • HeliExtend – 避免錐束偽影

  • 水平和垂直視場擴展

  • 水平和多個垂直視場擴展的組合

搭載LDA的專用扇束CT技術

  • 水平視場擴展,Comet Yxlon技術

  • 確定要掃描的感興趣區域(ROI),使用圖像質量和速度的不同線距進行掃描


技術參數


屬性相關數據
樣品直徑600 [mm]
樣品高度850 [mm] 平板探測器 / 800 [mm] 線陣列探測器
最大樣品重量100 [kg]
X射線管450 kV mini-focus
探測器類型Flat-panel detector 4343 N 平板探測器 和/或 Comet Yxlon CTScan 3 線陣列探測器
CT 模式Cone-beam CT錐束CT掃描, QuickScan快速掃描, QualityScan質量掃描, HeliExtend螺旋擴展掃描, SpeedMode動態變速掃描, Fan-beam CT扇束CT掃描, ScanExtend (FoV extensions)掃描擴展, Volume Crop體積裁剪
體素尺寸最小至 55 [µm]
CT 檢測范圍 (3D)
平板探測器
570 x 850  [mm]
CT 檢測范圍 (3D)
線陣列探測器
600 x 800  [mm]
DR 檢測范圍
(2D)
520 x 850 [mm]
Manipulation5 axes






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