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技術文章

能研8713 - 氣體質量流量控制器的選購指南

閱讀:918          發布時間:2024-5-24

8713 型質量流量控制器 (MFC) 適合在大流量范圍內對氣體進行質量流量控制。直接位于氣流中的熱 MEMS 傳感器可以實現速度的響應。一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件,確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備的控制特性。8713 型設備可以針對兩種不同的氣體進行校準,用戶可以在兩者之間進行切換。與上級設備的通信采用數字形式,這樣一來,就可以省去額外的數模轉換。8713 型質量流量控制器適合多樣化應用,例如燃燒器控制、熱處理、材料涂層、生物反應堆、燃料電池技術或者試驗臺。

  • 標稱流量范圍:0.010 lN/min 至 80 lN/min

  • 測量精度和重復性高

  • 調控速度特別快

  • 通過 RS485 進行數字通信

  • 緊湊型版本


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