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當前位置：江蘇神州半導體科技有限公司>>射頻電源（RF）>>KYOSAN JFK Series>> KYOSAN JFK125TP-TC2KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2
| 供貨周期 | 現貨 | 貨號 | 2L39-000121-23 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 | 主要用途 | RF GENERATOR |
| 品牌 | KYOSAN | 型號 | JFK125TP-TC2 |
| P/N | 2L39-000121-23 | 頻率 | 3.2MHz |
| 輸出功率 | 12.5KW | 設備狀態 | Refurbished |
KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2 RF Generator是經過長期驗證的具有高可靠性的射頻發生器，是面向核心等離子體應用的業界前沿的可重復電源。RFK Series 射頻電源整體采用緊湊型的外觀設計，能夠有效的降低客戶的使用成本。設備主要運用于等離子蝕刻，CVD和濺射等應用，堅固耐用，為等離子工藝提供了優秀的可靠性。KYOSAN JFK系列射頻電源可以實現對射頻輸出的精準控制，可以在一定程度上提高產線效率和產品良率。
KYOSAN 射頻電源 JFK125TP-TC2 RF Generator 參數規格
設備品牌：KYOSAN
設備型號：JFK125TP-TC2
AC 電源輸入：200~208V，3 phase~+G，60A，50/60Hz
RF 射頻輸出：3.2MHz，12.5KW（cw），20KW（PEAK）
通訊接口：Analog I/F，Debug，Device Net
設備散熱：水冷散熱
水冷進水需求：水冷流量 8L/min
設備重量：45kg
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