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干涉儀是一種通過測量光照射到物體時發生的干涉現象來測量物體的表面形狀、折射率和尺寸的裝置。
干涉現象是多個波疊加并相互增強或抵消時產生新的波形。當波來自同一源或具有相同或相似的頻率時，這一點最為明顯。
干涉儀有不同類型，例如邁克爾遜干涉儀、馬赫-曾德爾干涉儀和斐索干涉儀。
干涉儀用途
干涉儀的主要用途是對玻璃、金屬、陶瓷等平板等物體表面進行非接觸式觀察。例如，玻璃產品包括智能手機蓋板玻璃、液晶玻璃、分色光學系統中使用的棱鏡和半導體掩模基板，金屬產品包括模具和鋁盤。
此外，還可以測量電子設備用半導體器件中使用的硅晶片、硬盤基板等特殊物品。射電干涉儀還用于使用射電望遠鏡進行天文觀測。
干涉儀原理
主干涉儀將光源發出的光分成兩束，使一束光束穿過樣品并與另一束干涉。此時，光學距離根據透射樣品的折射率和距離而變化，并出現干涉條紋圖案。
通過用干涉儀分析干涉條紋圖案，可以測量測量樣品的表面形狀和透射波前形狀。用干涉儀可以測量的尺寸最多只有幾厘米到十幾厘米。如果測量樣品較大，可能需要采取切割等措施。
干涉儀類型
干涉儀包括可測量平面玻璃、晶圓和鏡子等拋光表面的干涉儀，以及可測量光學透鏡、鋼球和塑料透鏡等球面的干涉儀。還有在 2 軸或 3 軸上進行測量的多軸干涉儀，這些多軸干涉儀可以實現更節省空間和高靈敏度的測量。
激光掃描干涉儀還可以測量平面以外的表面，例如圓柱面。用于測量玻璃、光纖端面、陶瓷、金屬磨削面、注塑塑料等。種類有很多種，需要根據用途來選擇。
