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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TS50
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TS50
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環境。
| 進氣法蘭 | VG100 CF100 ISO-R100 系列 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 25 |
| N2 （帶保護網） （升/秒） | 23 | |
| H2 （升/秒） | 13 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 2×106 |
| H2 | 50 | |
| 最大氣體流速※1、※2 | N2 （SCCM） | 600 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 2.5~3.5°C |
| 停機時間 | （分鐘） | 2.5~5 |
| 極限壓力※3 | （賓夕法尼亞州） | < 1×10-4 |
| “（托爾，Torr） | < 7.5×10-7 | |
| 允許的輔助壓力 | （賓夕法尼亞州） | 1200 |
| “（托爾，Torr） | 9 | |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧80 |
| 安裝姿勢 | 直立 （±10°） | |
| 質量 | （公斤） | 11 |
全級螺旋槽（螺紋槽）結構
能夠在中低真空范圍內排出大量氣體
能夠承受超過 300,000 次大氣侵入
安全標準：NRTL/SEMI-S2
渦輪分子泵的核心優勢
真空性能
可獲得10??mbar以上的超高真空
抽速曲線平坦，工作范圍寬
對輕質氣體（如氫氣）抽速高
清潔無污染
無油，不會產生碳氫化合物污染
適合潔凈敏感工藝
符合SEMI標準
高效節能
比擴散泵節能50%以上
快速啟動，縮短工藝周期
功率因數高
穩定可靠
平均時間超過30000小時
抗突發大氣沖擊能力強
振動噪聲小
智能控制
變頻調速功能
實時狀態監測
故障自診斷系統
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