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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG553
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG553
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環境。
| 進氣法蘭 | VG150 CF160 ISO-B160 標準 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 550 |
| N2（帶保護網） （升/秒） | 430 | |
| H2 （升/秒） | 370 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 3×103 | |
| 極限壓力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6/< 1×10-7 |
| VG?ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9/< 7.5×10-10 | |
| 最大氣體流速※1 | N2 （SCCM） | 1500 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 8-13 |
| 停機時間 | （分鐘） | 8-11 |
| 允許的輔助壓力 | （Pa / Torr） | 300/2.3 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | 250 |
| 潤滑油量 | （毫升） | 260 |
| 安裝姿勢 | 垂直 （±10°） | |
| 質量 | （公斤） | 41 |
| 控制器類型 | TC553 系列 | |
用
?半導體制造
?電子槍排氣、離子源排氣
?FPD 制造
?表面處理、表面改性
?各種電子元件的制造
?管材、光學元件的制造
?加速器、放射線設施、聚變研究
?熱處理
?研發
* 對于清潔工藝，請選擇 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。
渦輪分子泵的顯著特點
（一）結構設計特征
多級渦輪葉片組（通常10-20級）
精密加工的鋁合金或鈦合金轉子
超精密軸承系統（陶瓷球軸承或磁懸浮軸承）
緊湊的模塊化設計
內置智能控制系統
（二）性能參數特點
工作壓力范圍：10?3至10?11mbar
壓縮比高達101?（對氮氣）
抽速范圍：10-5000L/s
啟動時間短（3-15分鐘）
（三）運行維護特點
需要前級泵（通常為旋片泵或干泵）支持
對振動和沖擊敏感
定期軸承維護要求
自動保護功能完善（過載、過熱等）
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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