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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG390MI
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG390MI
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環境。
渦輪分子泵主要分為兩大類：
復合式渦輪分子泵：結合渦輪級和牽引級，具有更寬的工作壓力范圍
純渦輪分子泵：全部由渦輪葉片組成，在超高真空下性能更優
現代渦輪分子泵通常由電機、轉子組件、軸承系統、控制系統和外殼五大部分組成，采用精密動平衡技術確保高速運轉的穩定性。
對于易發生反應產物積累的器件，該系列采用我們的保溫結構和自熱機構，顯著降低反應產物的沉積速率。
傳統的方法是加熱整個周圍區域
，包括反應產物的目標部分
對策，并分散熱量。
?無法有效使用。
?對目標區域以外的區域的熱效應
TG-MI 系列采取的措施
除了通過外部加熱器提高溫度外，還可以有效利用泵內部產生的吸入氣體的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度
，減少外部加熱器的輸出功率，提高節能效果！
?減少對主要部件的熱影響，減少對泵的損傷。
?排氣管也采用隔熱材料。 保持最佳溫度并防止產品在排氣管中形成。
用
半導體、FPD、MEMS 制造等蝕刻設備
易產生反應產物的工藝設備
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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