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Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG1300MU
Osaka Vacuum大阪真空 渦輪分子泵 TG1300MU
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環境。
渦輪分子泵的核心優勢
真空性能
可獲得10??mbar以上的超高真空
抽速曲線平坦，工作范圍寬
對輕質氣體（如氫氣）抽速高
清潔無污染
無油，不會產生碳氫化合物污染
適合潔凈敏感工藝
符合SEMI標準
高效節能
比擴散泵節能50%以上
快速啟動，縮短工藝周期
功率因數高
穩定可靠
平均時間超過30000小時
抗突發大氣沖擊能力強
振動噪聲小
智能控制
變頻調速功能
實時狀態監測
故障自診斷系統
在超高真空環境中，大部分殘留氣體是氫氣等輕質氣體。 通過提高輕質氣體的排氣性能，更容易獲得更好的真空環境。
如果在初始排氣中能獲得良好的真空環境，就可以在殘留氣體很少的情況下進行制造過程，從而提高產品質量。
用
?開發
、制造
、加速器、同步輻射設備、核聚變研究等
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