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Osaka Vacuum大阪真空 超低振動型渦輪分子泵 TG1300ML
Osaka Vacuum大阪真空 超低振動型渦輪分子泵 TG1300ML
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環(huán)境。
渦輪分子泵的典型應用領域
（一）半導體制造
晶圓加工設備（刻蝕、離子注入等）
光刻機真空系統(tǒng)
半導體鍍膜設備
（二）科學研究
高能物理實驗裝置
表面分析儀器（XPS、AES等）
空間環(huán)境模擬設備
（三）分析儀器
質譜儀
電子顯微鏡
同步輻射裝置
（四）特種工藝
分子束外延（MBE）
納米材料制備
精密光學鍍膜
（五）新興領域
量子計算研究
核聚變實驗裝置
先進材料研發(fā)
用
EUV 光刻設備等下一代半導體制造設備
高精度、高性能電子顯微鏡、分析設備、測量設備等
半導體制造正在朝著 “小型化 " 和 “高集成度 "的方向發(fā)展。 同時，分析、測量和檢查過程也要求“更準確"和“更復雜"。
為了進行微細加工和微觀區(qū)域的測量和分析，即使改進了控制技術，設備振動也毫無意義。 因此，真空泵對減振的需求非常強烈。
我們成功地將泵體的振動值抑制到 1 nm 或更小！ * 根據我們的測量方法
配備特殊的防振阻尼器，振動值進一步降低一個數量級！
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環(huán)境試驗 ...
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