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Osaka Vacuum大阪真空 超低振動型渦輪分子泵 TG390ML
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渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉葉片與氣體分子動量交換來實現抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現已成為高真空和超高真空系統中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產生高真空環境。
技術發展趨勢
軸承技術革新
磁懸浮軸承的普及應用
混合陶瓷軸承優化
自潤滑軸承系統
材料與制造工藝
碳纖維復合材料轉子
3D打印葉輪技術
超精密加工工藝
智能化發展
物聯網遠程監控
AI預測性維護
數字孿生技術應用
性能提升方向
更高轉速設計（>90000rpm）
更寬的工作壓力范圍
提高輕質氣體抽速
用
EUV 光刻設備等下一代半導體制造設備
高精度、高性能電子顯微鏡、分析設備、測量設備等.
半導體制造正在朝著 “小型化 " 和 “高集成度 "的方向發展。 同時，分析、測量和檢查過程也要求“更準確"和“更復雜"。 為了進行微細加工和微觀區域的測量和分析，即使改進了控制技術，設備振動也毫無意義。 因此，真空泵對減振的需求非常強烈。
高斯摩(成都)國際貿易有限公司 - 主營產品： 主要經營光學設備、電子計測、科學儀器、機械加工設備、環境試驗 ...
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