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所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時間：2025/6/20 16:27:12
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Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG427M
Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG427M
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
渦輪分子泵的典型應用領域
（一）半導體制造
晶圓加工設備（刻蝕、離子注入等）
光刻機真空系統(tǒng)
半導體鍍膜設備
（二）科學研究
高能物理實驗裝置
表面分析儀器（XPS、AES等）
空間環(huán)境模擬設備
（三）分析儀器
質(zhì)譜儀
電子顯微鏡
同步輻射裝置
（四）特種工藝
分子束外延（MBE）
納米材料制備
精密光學鍍膜
（五）新興領域
量子計算研究
核聚變實驗裝置
先進材料研發(fā)
省電設計
運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。
各種通信規(guī)格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE
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