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Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿態復合分子泵 TG1400F
Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿態復合分子泵 TG1400F
柔性姿態復合分子泵是一種集成了分子泵和機械泵工作原理的高真空獲取設備，通過創新的結構設計實現了泵體在空間姿態上的靈活適應性。與傳統分子泵相比，該類型泵采用了復合式抽氣機制，結合了渦輪分子泵的高抽速特點和牽引分子泵的高壓縮比優勢，同時通過柔性支撐系統和智能控制技術，使泵體能夠在傾斜、旋轉等多種姿態下穩定工作。
柔性姿態復合分子泵的技術特點
1. 結構設計特點
柔性姿態復合分子泵采用模塊化轉子組件，各級轉子通過柔性聯軸器連接，允許微小的相對位移。軸承系統通常采用混合陶瓷軸承或磁懸浮軸承，配合主動振動控制系統，確保在不同工作姿態下的運轉穩定性。泵殼設計考慮了熱膨脹系數匹配問題，采用特殊合金材料制造，保證溫度變化時的幾何精度。
2. 抽氣機制復合性
前級采用渦輪分子泵結構，由20-40級動葉片和靜葉片交替排列組成，實現氣體的初步壓縮；后級轉為螺旋牽引結構，通過高速旋轉的螺旋槽與靜止壁面形成分子流，將氣體進一步壓縮至可被前級泵處理的壓力范圍。這種復合設計使泵在10-10?Pa范圍內都能保持較高抽速。
3. 姿態適應性技術
通過六維力傳感器實時監測泵體受力狀態，結合主動平衡控制系統動態調整轉子動平衡。采用抗傾覆軸承設計和分布式潤滑系統，確保泵在±30°傾斜范圍內正常工作。部分型號還配備姿態記憶功能，可自動恢復工作參數。
| 型 | TG1400F | |
| 進氣法蘭 | VG200/ISO-B200/CF200 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1400 |
| N2（帶保護網） （升/秒） | 1300 | |
| H2 （升/秒） | 750 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4.3×103 | |
| 極限壓力 | （帕/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大氣體流速※1 | （SCCM） | 450 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 5.5-7 |
| 停機時間 | （分鐘） | 15-18 |
| 允許的輔助壓力 | （帕/托爾） | 330/2.5 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧250 |
| 安裝姿勢 | 自由 | |
| 質量 | VG/ISO-B/CF（千克） | 29/30 |
| 控制器類型 | TC1103 系列 | |
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