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Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿態復合分子泵 TG220F
Osaka Vacuum大阪真空 柔性姿態復合分子泵 TG220F
柔性姿態復合分子泵是一種集成了分子泵和機械泵工作原理的高真空獲取設備，通過創新的結構設計實現了泵體在空間姿態上的靈活適應性。與傳統分子泵相比，該類型泵采用了復合式抽氣機制，結合了渦輪分子泵的高抽速特點和牽引分子泵的高壓縮比優勢，同時通過柔性支撐系統和智能控制技術，使泵體能夠在傾斜、旋轉等多種姿態下穩定工作。
柔性姿態復合分子泵的應用領域
1. 航空航天領域
在衛星制造和空間模擬艙中，柔性姿態復合分子泵可適應零重力環境和發射階段的強烈振動。某型號空間環境模擬器采用此類泵后，系統抽氣時間縮短40%，滿足了航天器快速排氣測試的要求。在機載科學儀器中，其抗振特性保障了飛行過程中的穩定運行。
2. 半導體制造裝備
應用于集成電路刻蝕設備和薄膜沉積系統，解決了光刻機中多泵并聯時的空間沖突問題。某7nm制程產線采用柔性泵后，設備布局密度提高25%，潔凈室空間利用率提升30%。其低振動特性還將晶圓加工缺陷率降低了0.5個百分點。
3. 科研實驗裝置
在同步輻射光源和粒子加速器中，柔性泵可安裝在復雜幾何結構的真空管道上。北京某大科學裝置使用后，系統極限真空提升一個數量級，達到5×10-8Pa。其磁兼容設計還不干擾精密測量儀器的磁場環境。
4. 移動檢測平臺
車載質譜儀和移動式表面分析設備得益于柔性泵的抗顛簸性能，在野外作業中保持穩定抽氣。某環境監測項目顯示，在三級公路行駛條件下，系統真空度波動控制在±3%以內，檢測要求。
5. 特殊工業場景
在石油化工領域，柔性泵用于易燃易爆環境下的氣體分析，其防爆設計通過ATEX認證。某煉油廠應用案例表明，該泵在含硫氣體環境中的平均維修間隔延長至18個月，維護成本降低60%。
| 型 | TG220F 系列 | |
| 進氣法蘭 | VG100/ISO-R100/CF100 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 220 |
| N2（帶保護網） （升/秒） | 210 | |
| H2 （升/秒） | 100 | |
| 最大壓縮比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×102 | |
| 極限壓力 | （帕/托爾） | <1×10-6/<7.5×10-9 |
| 最大氣體流速※1 | （SCCM） | 400 |
| 啟動時間 | （分鐘） | 1-1.2 |
| 停機時間 | （分鐘） | 2.5-3.5 |
| 允許的輔助壓力 | （帕/托爾） | 260/2 |
| 推薦的輔助泵 | （升/分鐘） | ≧80 |
| 安裝姿勢 | 自由 | |
| 質量 | VG/ISO-R/CF（千克） | 5.5/8 |
| 控制器類型 | TC223 系列 | |
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